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发明名称
摘要
申请公布号 JP3164381(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19910168073 申请日期 1991.07.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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