发明名称
摘要
申请公布号 JP3162974(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19950260925 申请日期 1995.09.14
申请人 发明人
分类号 C03C15/00;C03C17/22;H01L21/205;(IPC1-7):C03C17/22 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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