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发明名称
WAFER RETAINER AND METHOD FOR ATTACHING/DETACHING THE WAFER RETAINER TO/FROM POLISHING MACHINE BASE PLATE
摘要
申请公布号
KR20010035545(A)
申请公布日期
2001.05.07
申请号
KR1020017002611
申请日期
2001.02.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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