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发明名称 METHOD OF AND SYSTEM FOR MEASURING AN ELECTRON BEAM PROFILE
摘要
申请公布号 PL341864(A1) 申请公布日期 2001.05.07
申请号 PL19990341864 申请日期 1999.01.13
申请人 IMAGE PROCESSING SYSTEMS,INC. 发明人 BUKAL BRANKO;SAFAEE-RAD REZA;NEMETH KAROLY G.
分类号 H01J9/42;H04N17/04;(IPC1-7):H01J9/42 主分类号 H01J9/42
代理机构 代理人
主权项
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