发明名称 PERFEZIONAMENTO DI UN METODO E APPARATO PER LA DEPOSIZIONE DI FILM SOTTILI, SOPRATTUTTO IN CONDIZIONI REATTIVE.
摘要
申请公布号 ITRM20010060(A1) 申请公布日期 2001.05.07
申请号 IT2001RM00060 申请日期 2001.02.06
申请人 MISIANO CARLO;PULKER HANS K. 发明人 MISIANO CARLO;PULKER HANS K.
分类号 C23C14/00;C23C14/32 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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