| 摘要 |
<p>Verfahren zum Trocknen von Datenträgerplatten (8), bei dem auf eine Kunststoffscheibe ein flüssiger Dye aufgetragen und anschließend getrocknet wird. Die Trocknung erfolgt unter Unterdruck. Dadurch wird ein schnelles, energiesparendes Trocknen erzielt, ohne dass die Qualität der hergestellten Datenträgerplatten darunter leidet. Eine Vorrichtung (1) zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens weist eine Kammer (2) auf, die mindestens eine Vakuumschleuse (4, 6) aufweist und eine Vakuumpumpe (11), um in der Kammer (3) einen Unterdruck zu erzeugen. Vorzugsweise wird in der Kammer sowohl der Trocknungsvorgang als auch ein Sputtervorgang durchgeführt.</p> |
