Kohleelektrode zum Schmelzen von Quarzglas und Verfahren zu ihrer Herstellung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Kohleelektrode mit einem geringerem Verzehr (Verbrauch) und einer langen Gebrauchslebensdauer (Nutzdauer) und ein Verfahren zur Herstellung derselben, bei dem verhindert wird, dass Teilchen von den Kohleelektroden in ein schmelzendes Quarzglas herunterfallen, das Auftreten von Blasen in dem Quarzglas kontrolliert wird und die Abnahme der Einkristallisationsausbeute durch die in einer transparenten Schicht vorhandenen Blasen, die in der Nähe einer Innenseiten-Oberfläche eines Quarzglas-Schmelztiegels gebildet worden sind, beim Ausziehen eines Silicium-Einkristalls vermieden wird durch Verwendung eines Quarzglas-Schmelztiegels, der unter Verwendung der Kohleelektroden hergestellt worden ist. DOLLAR A Die Kohleelektrode für die Verwendung zum Schmelzen von Quarzglas durch Lichtbogenentladung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrodenmaterial besteht aus Kohle mit einer Dichte von 1,80 g/cm·3· oder höher und einer Dreipunkt-Biegefestigkeit von 35 MPa oder höher.