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发明名称 Hochrein-Titanwerkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung sowie Verwendung als Zerstäubungstarget
摘要
申请公布号 DE69033640(T2) 申请公布日期 2001.05.03
申请号 DE19906033640T 申请日期 1990.07.13
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 ISHIGAMI, TAKASHI;KAWAI, MITUO;YAGI, NORIAKI
分类号 C22B9/22;C22B34/12;C22C1/02;C22C14/00;C23C14/34;H01L21/768;(IPC1-7):C22B34/12 主分类号 C22B9/22
代理机构 代理人
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