| 摘要 |
Um ein Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften eines Mediums, z. B. eines Mediums zum Behandeln von Halbleitersubstraten, zu schaffen, das auf einfache und kostengünstige Art und Weise eine Bestimmung von Eigenschaften eines Mediums mit hoher Genauigkeit ermöglicht, sieht die vorliegende Erfindung das Erzeugen eines Hochfrequenz-Wechselfeldes in dem Medium, das Messen eines durch das Medium bewirkten Energieverlustes im Wechselfeld und das Bestimmen der Eigenschaften des Mediums in Abhängigkeit vom Energieverlust vor. Durch das Erzeugen eines Hochfrequenz-Wechselfeldes und Messen des Energieverlustes lassen sich auf einfache und kostengünstige Weise und mit hoher Genauigkeit Eigenschaften des Mediums bestimmen, wie beispielsweise die Zusammensetzung, die Konzentration bestimmter Inhaltsstoffe, der Reinheitsgrad und ähnliche Eigenschaften. In dem Hochfrequenz-Wechselfeld können spezielle, frequenzabhängige Eigenschaften des Mediums bestimmt werden, da unterschiedliche Komponenten des Mediums das Wechselfeld bei unterschiedlichen Frequenzen unterschiedlich beeinflussen.
|
