| 发明名称 | 位相型长焦深超分辨光阑 | ||
| 摘要 | 一种位相型长焦深超分辨光阑,它是由透明材料构成的平行平板上含有与光阑同心的凹带环或凸带环。光束通过带凹带环或凸带环的光阑后,与通过凹带环或凸带环以外的光束在光程上相差半个波长,也就是在空间位相上相差π。则沿轴向空间峰值相消,实现焦深的延长。沿径向其边缘相消,实现分辨率的提高。焦深延长倍数高于三倍。广泛应用于微电子加工,光刻技术和扫描显微技术中的聚焦或成像系统中。 | ||
| 申请公布号 | CN1293381A | 申请公布日期 | 2001.05.02 |
| 申请号 | CN00127615.8 | 申请日期 | 2000.11.30 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 王海凤;陈仲裕;干福熹 |
| 分类号 | G03B9/02 | 主分类号 | G03B9/02 |
| 代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
| 主权项 | 1．一种位相型长焦深超分辨光阑，包括：<1>由透明材料所构成的平行平板(202)；其特征在于：<2>在平行平板(202)上含有与平行平板(202)同中心(O)的凹带环(201)或凸带环(201)；<3>凹带环(201)或凸带环(201)的深度<math> <mrow> <mi>h</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>λ</mi> <mrow> <mn>2</mn> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> </mfrac> <mo>,</mo> </mrow> </math> 式中λ为入射光束的波长，n1为构成平行平板(202)材料的折射率，n0为空气的折射率；<4>凹带环(201)或凸带环(201)的内圆半径b相对于通光孔径半径为1时，为0≤b≤0．35，外圆半径a为a=0．4+0．0932b+1．5973b2，或者a=0．36+0．0842b+2．0787b2。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||