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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COATING A SOLUTION ONTO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1095314(A1) 申请公布日期 2001.05.02
申请号 EP19990912728 申请日期 1999.03.19
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 PRINCIPE, FRANK, SANTO;INNOCENZO, JEFFREY, GLENN
分类号 G03F7/16;B05C11/02;B05D3/00;G03F3/10;(IPC1-7):G03F7/12 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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