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发明名称 Co-Ti ALLOY SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 EP1091015(A4) 申请公布日期 2001.05.02
申请号 EP19990970555 申请日期 1999.06.29
申请人 JAPAN ENERGY CORPORATION 发明人 TAKAHASHI, K.
分类号 C22C19/07;C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22C19/07
代理机构 代理人
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