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发明名称 MUFFIN TIN STYLE CATHODE ELEMENT FOR DIODE SPUTTER ION PUMP
摘要
申请公布号 EP1095396(A2) 申请公布日期 2001.05.02
申请号 EP20000918829 申请日期 2000.03.17
申请人 FEI COMPANY 发明人 MCGINN, JAMES, B.
分类号 H01J41/12;H01J41/18;H01J41/20;(IPC1-7):H01J41/20 主分类号 H01J41/12
代理机构 代理人
主权项
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