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发明名称 METHOD FOR DECONTAMINATING MICROLITHOGRAPHY PROJECTION LIGHTING DEVICES
摘要
申请公布号 EP1095315(A1) 申请公布日期 2001.05.02
申请号 EP19990929261 申请日期 1999.06.17
申请人 CARL ZEISS;CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS 发明人 GERHARD, MICHAEL;ZEHETBAUER, MARCUS;DIECKMANN, NILS;SCHRIEVER, MARTIN;SIELER, CHRISTINE;REISINGER, GERD
分类号 B08B7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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