| 主权项 |
1.一种在一具有至少一个精馏塔的精馏系统中低温分馏空气而制造超纯氮之方法,其方法中将压缩及纯化的进料空气导入一压力塔内,将由压力塔所制造之无氧的加压氮馏份导入一低压塔中,及在低压塔中制得为顶部气体的无一氧化氮之低压氮,其特征在于:无氧的加压氮馏份系一种由压力塔之上部取出的液态者或由一含有储存之无氧的氮之液槽所提供者,且在于无氧的加压氮馏份系膨胀进入底部经加热的低压塔内,在低压塔中形成上升的蒸气及用一回流的超纯氮(施予低压塔的顶部)使其脱除一氧化碳,其由低压塔之顶部当作无一氧化碳的顶部气体被取出,且在压力增加至部分液化后且液化的部分膨胀入底部经加热的He-Ne-H2塔内后,由后者取出液态的超纯氮。2.如申请专利范围第1项之方法,其中无一氧化碳的顶部气体和He-Ne-H2塔的顶部气体系合并形成一种无一氧化碳的冷气流。3.如申请专利范围第1项之方法,其中在一靠液态冷冻剂(其在过程中蒸发)的冷凝器/蒸发器中使无一氧化碳的顶部气体部分地液化,及合并液态冷冻剂之汽化中所产生的气流和He-Ne-H2塔的顶部气体以形成一种无一氧化碳的冷气流。4.如申请专利范围第2或3项之方法,其中于热交换器中温热无一氧化碳的冷气流,压缩及在同一热交换器中再度逆流冷却,然后将一部分用于低压塔中,而另一部分用于He-Ne-H2塔中以便加热底部,及在此过程中液化,例外的是剩余的束流留在气态,而当作液态冷冻剂被送至冷凝器/蒸发器。5.如申请专利范围第4项之方法,其中在He-Ne-H2塔和低压塔之加热期间所液化的束流系当作回流送至He-Ne-H2塔。6.如申请专利范围第4项之方法,其中使用He-Ne-H2塔和低压塔之加热时液化的束流,在低压塔的冷凝器/蒸发器中液化低压塔的无一氧化碳之顶部气体,例外的是剩余的束流,而至少部分当作回流送至He-Ne-H2塔。7.如申请专利范围第1项之方法,其中由He-Ne-H2塔所取出的液态超纯氮系部分地制成低压塔的回流而部分制成液态超纯氮产品。8.如申请专利范围第7项之方法,其中超纯液态氮产品系被送到产品槽。9.如申请专利范围第7项之方法,其中用泵来加压超纯液态氮产品,利用无氧的加压氮馏份之制造时的冷含物使其汽化,温热及当作气态加压产品使用。图式简单说明:第一图显示依本发明之一方法,由液态氮槽提供无氧的氮以用于制程中。第二图显示依本发明之一方法,由精馏系统之压力塔提供无氧的氮以用于制程中。第三图显示如第一图之方法,但是具有附加的蒸发器/冷凝器。第四图显示如第二图之方法,具有附加的蒸发器/冷凝器。第五图显示如第二图之方法,以本发明的方法改良一精馏系统之情况。 |
