| 主权项 |
1.一种气体输送系统,用以将一制程气体由一气体储柜传输至一组制程机台,该组制程机台操作时所需之气体瞬间消耗量大于该气体储柜之气体瞬间供应量,该瞬间消耗量与该瞬间供应量之差为一气体不足量,该气体输送系统系包含:一第一气体输送管,该第一气体输送管之第一端连接至所述气体储柜;一气体暂存管,连接至所述该第一气体输送管之第二端,该气体暂存管内之气体储存量系大于该气体不足量;以及一第二气体输送管,该第二气体输送管之第一端连接至所述气体暂存管,该第二气体输送管之第二端连接至该组制程机台;当该组制程机台操作时,若该组制程机台操作时所需之气体瞬间消耗量大于该气体储柜之气体瞬间供应量,则由该气体暂存管供应该不足量部分气体。2.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中该气体输送系统更包含一加热器,该加热器系设置于该气体暂存管上,且所述气体暂存管的内径不大于120厘米,使储存于该气体暂存管内的该气体能受到该加热器均匀加热而维持于一预设温度范围。3.如申请专利范围第2项之气体输送系统,其中所述加热器系用以将所述气体暂存管加热至25℃至40℃之间。4.如申请专利范围第2项之气体输送系统,其中所述加热器系用以将所述气体暂存管加热至28℃至32℃之间。5.如申请专利范围第2项之气体输送系统,其中该气体暂存管系成S形弯曲延伸,以减小该气体暂存管之热散失速率。6.如申请专利范围第2项之气体输送系统,其中所述气体暂存管的外壁上更贴附有保温材质。7.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述气体暂存管系为不锈钢材质。8.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述气体输送系统系用以输送NH3气体。9.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述气体输送系统系用以输送N2O气体。10.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述第二气体输送管系一不锈钢管。11.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述第二气体输送管更包含一阀门,用以控制气体的流量。12.如申请专利范围第1项之气体输送系统,其中所述第二气体输送管更连接至一分歧管,藉由该分歧管将该气体输送至该组制程机台中之各个制程机台。13.一种气体输送系统,用以将NH3气体由一气体储柜传输至复数部化学汽相沉积机台,系包含:一第一气体输送管,连接至所述气体储柜;一气体暂存管,系由不锈钢管所构成,连接至所述第一气体输送管;所述气体暂存管的内径不大于120厘米,其容积大于50公升,其外壁上贴附一加热器;一第二气体输送管,连接至所述气体暂存管;以及一分歧管,其输入端连接至所述第二气体输送管,而其复数个输出端则分别连接至所述复数部化学汽相沉积机台,其中所述复数个输出端分别包含一个阀门以控制气体流量。14.如申请专利范围第13项之气体输送系统,其中所述气体暂存管系由四根不锈钢管所构成,更包含三个连接管用以将所述四根不锈钢管串联在一起。15.如申请专利范围第13项之气体输送系统,其中所述气体暂存管系由至少一根不锈钢管所构成。16.一种气体输送系统,用以将N20气体由一气体储柜传输至复数部化学汽相沉积机台,系包含:一第一气体输送管,连接至所述气体储柜;一气体暂存管,系由不锈钢管所构成,连接至所述第一气体输送管;所述气体暂存管的内径不大于120厘米,其容积大于8公升;一第二气体输送管,连接至所述气体暂存管;以及一分歧管,其输入端连接至所述第二气体输送管,而其复数个输出端则分别连接至所述复数部化学汽相沉积机台,其中所述复数个输出端分别包含一个阀门以控制气体流量。17.如申请专利范围第16项之气体输送系统,其中所述气体暂存管系由四根不锈钢管所构成,更包含三个连接管用以将所述四根不锈钢管串联在一起。18.如申请专利范围第16项之气体输送系统,其中所述气体暂存管系由至少一根不锈钢管所构成。19.一种气体输送系统的设计方法,利用包含有一气体特性资料库、一制程气体流量资料库、以及一处理器的资料处理系统进行,其步骤包含有:利用所述处理器由该气体特性资料库取得输送气体的特性;利用所述处理器由制程气体流量资料库取得机台数量以及各制程所需之反应气体用量;利用所述处理器计算出各制程所需之平均用量并决定气体储柜的供应量,并且算出一气体不足量;以及利用所述处理器将所述气体不足量乘上一个不小于1的安全系数以决定气体暂存管的尺寸。20.如申请专利范围第19项之气体输送系统的设计方法,其中所述气体特性资料库包含各种气体的资料,举凡气体的颜色、气味、原子重、蒸气压、沸点、溶点、密度、室温状态、安全特性等等,以做为后续输送系统设计的依据。21.如申请专利范围第19项之气体输送系统的设计方法,其中所述制程气体流量资料库连接至各制程机台进气口处的质流控制阀门,用以接收并储存各机台在制程过程中气体使用量对时间变化的资料。22.如申请专利范围第19项之气体输送系统的设计方法,其中所述处理器系所述资料处理系统的中央控制单元,用以控制资料的读取、储存、以及进行资料的计算。图式简单说明:第一图是本发明所揭露之气体输送系统之设计方法的流程图。第二图是本发明第一实施例所揭露之气体暂存管的横剖面示意图。第三图是本发明第二实施例所揭露之气体暂存管的横剖面示意图。第四图是本发明所揭露之气体暂存管使用于整个气体输送系统的结构示意图。 |
