| 主权项 |
l.一种整体化气体控制装置,其特征为备有;底座,与在上部具有向上开口之安装孔,开口于此安装孔之底面之第l气体通路及第2气体通路,在上述底座上成复数列安装之复数个之流路块,与将这些邻接之流路块之端部互相连通上述第2气体通路与上述第l气体通路之密封状态下连接成可分开连接之密封手段及连接手段,与构成为纵型,插入于上述各流路块之安装孔之下部阀体具有第l气体通路及第2气体通路之复数种气体控制机路,与设于这些气体机器之阀体外周,具有螺纹之连接筒,与形成于上述流路块,将上述节需之气体控制机器之阀体插入于上述流路块之安装孔之状态下螺着上述连接筒可将气体控制机器连接于流路块之螺丝,与连接上述气体控制机器与流路块,而将这些气体控制机器及流通块之第l气体通路互相与第2气体通路连通之状态下密封这些控制机器,流路块间之密封手段。2.如申请专利范围第1项之整体化气体控制装置,其中气体控制机器为从自动隔膜阀,肘节型手动隔膜阀,过滤单元,附有止回阀之自动隔膜阀,减压法,调节器,质量流动控制器,质量流量表所选择使用。3.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中流路块为具有成对之安装孔,此成对之安装孔为在直交方向之气体通路构成为可切换。4.如申请专利范围第3项之整体化气体控制装置,其中流路块为具有复数组之成对安装孔。5.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中邻接之流路块间之密封手段,为装设于上述流路块之端部间,而具有连通第2气体通路与第1气体通路之孔之金属密合垫片。6.如申请专利范围第5项之整体化气体控制装置,其中金属密合垫片为于流路块之端部位于形成在气体通路周缘部之密封圆缘之间。7.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中相邻接之流路块之连接手段,为备有;嵌合于螺合在一方之流路块之端部外周之第1卡止用螺帽,与此第1卡止用螺帽外周成反螺纹,而螺合于他方之流路块端部外周,具有卡止于上述第1卡上用螺帽之卡止部之第2卡止用螺帽。8.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中相邻接之流路块之连接手段系具有,将互相之气体通路定位成连通状态而保持于其姿势所用之定位手段。9.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中各气体控制机器之阀体及流路块,将上述阀体插入于上述流路块之安装孔时,备有互相连通上述流路块及上述阀体之第1气体通路与第2气体通路所用之定位手段。10.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中各气体控制机器与各流路块之间之密封手段为备有;上述气体控制机器之阀体底部与上述流路块之安装孔之底部以定位状态装设,互相连通上述流路块及上述阀体之第1气体通路及第2气体通路之孔之一片材料所构成之金属密合垫片。11.如申请专利范围第10项之整体化气体控制装置,其中金属密合垫片为装设于气体控制机器之阀体与流路块之安装孔底部之周缘部突出成更高之突出部之间。12.如申请专利范围第11项之整体化气体控制装置,其中金属密合垫片为装设于形成在气体控制机器之阀体与流路块之突出部因分别于第1气体通路及第2气体通路之周缘部所形成之密封圆缘之咬入而至少将孔之周缘部使其与上述阀体与流路块之突出部做面接触。13.如申请专利范围第12项之整体化气体控制装置,其中在气体控制机器与流路块之突出部之间将金属密合垫片装设成面接触状态时,在上述流路块之突出部之侧方,较此流路侧之密封圆缘突出更高之受面为抵接于上述气体控制机器之阀体下部侧方。14.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中将各气体控制机器连接于各流路块之连接筒之螺纹为内螺纹,此连接筒螺着于形成上述流路块之安装孔之筒状突出部外侧所形成之外螺纹。15.如申请专利范围第1或2项之整体化气体控制装置,其中将各气体控制机器连接于各流路块之连接筒之螺纹为外螺纹,此连接筒为螺着于上述各流路块之安装孔内侧所形成之内螺纹。图式简单说明:第一图系表示依据本发明之第1实施形态之整体化气体控制装置之平面图。第二图系表示该整体化控制装置,于第一图之A-A线之一部分截断侧面图。第三图系表示使用于该整体化控制装置之流路块要部之平面图。第四图系表示使用于该整体化控制装置之流路块之纵剖面图。第五图系表示连接于该整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第六图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之自动隔膜阀连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第七图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之肘节型手动隔膜阀连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第八图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之过滤单元连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第九图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之附有止回阀自动隔膜阀连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第十图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之调节器连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第十一图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之质量流量控制器连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第十二图系表示该整体化气体控制装置,将属于气体控制机器之质量流量表连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第十三图系表示连接本发明之第2实施形态使用整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第十四图系第十三图之B-B剖面图。第十五图系表示连接本发明之第3实施形态使用整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第十六图系第十五图之C-C剖面图。第十七图系表示连接本发明之第4实施形态使用整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第十八图系第十七图之D方向之箭头符号侧面图。第十九图系表示连接本发明之第5实施形态使用整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第二十图系表示本发明之第6实施形态之整体化气体控制装置,将属于气体控制机路之自动隔膜阀连接于流路块之状态之一部分截断正面图。第二十一图系表示连接本体明之第7实施形态使用整体化气体控制装置之流路块之状态之纵剖面图。第二十二图系沿着第二十一图之E-E线之剖面图。第二十三图系沿着第二十一图之F-F线之剖面图。第二十四图系表示自行技术之气体控制管线之一部分之平面图。第二十五图系使用于先行技术之气体供给控制管线之气体控制该机器之连接构造之纵剖面图。 |
