| 主权项 |
1.一种压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,主要系由,控制阀(CV)及孔口(2)及 用于侦出这些之间之上游侧压力P1之压力检出器(14)及流量设定电路(32)所构成,将上游侧压力P1保持于下游侧压力P2之约2倍以上,而将下游侧之流量QC以QC=KP1(K:常数)来计算,而以此计算流量QC与设定流量QS之相差讯号QY来行控制阀(CV)之开闭控制之流量控制装置中,其特征为具备:将设定流量QS保持于高设定流量QSH之第1过程,及将此 高设定流量QSH切换为低设定流量QSL而予以保持,测定上游侧压力P1以获得压力减衰数据P(t)之第2过程,及比较在同条件而孔口上没有阻塞时所测定基准压力减衰数据Y(t)与上述压力减衰数据P(t)之第3过程,以及压力减衰数据P(t)之与上述基准压力减衰数据Y(t) 比较时离开有规定度以上时,告知有阻塞之第4过程所构成者。2.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,其中上述高 设定流量QSH系100%流量(满标値流量),低设定流量QSL系0%流量(控制阀完全关闭),当切换至低设定流量经规定时间后之压力减衰数据P(t)之达到较基准压力减衰数据Y(t)离开有基准値以上时,予以告知有阻塞者。3.如申请专利范围第1项或第2所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,其中 基准压力减衰数据Y(t)及压力减衰数据P(t)乃以Y(t)=ep(-kt),(但K为减衰参数)之形 式来表示者。4.一种压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,主要系由,控制阀(CV)及孔口(2)及用于侦出这些之间之上游侧压力P1之压力检出器(14)以及流量设定电路(32)所构成,将上游侧压力P1保持于下游侧压力P2之约2倍以上,而将下游侧之流量QC以QC=KP1(K:常数) 来计算,以此计算流量QC与设定流量QS之相差讯号QY来实施控制阀(CV)之开闭控制之流量控制装置中,其特征为,具备将设定流量QS保持于高设定流量QSH之第1过程,及将此高设定流量QSH切换为低设定流量QSL而予以保持,一方面测定上游侧压力P1及上流温度Tt,同时使用此测定値来计算压力减衰数据P(t)之第2过程,及比较使用以同条件之下,孔口之设有阻塞时所测定之上游侧压力Pt及上游侧温度Tt所计算之基准压力减衰数据Y(t),与上述压力减衰数据P(t) 之第3过程,以及当压力减衰数据P(t)之规定度以上离开了基准压力减衰数据Y(t)时,知有阻塞之第4过程所构成者。5.如申请专利范围第4项所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,其中上述高设定流量QSH系100%流量(满标値流量),低设定流量QSL为0%流量(控制阀完全关闭),而切换至低设定流量经规定时间后方压力减衰数据P(t)之达到较基准压力减衰数据Y(t)离开 有基准値以上时予以告知有阻碍者。6.如申请专利范围第4项或第5项所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知方法,其中上述基准压力减衰数据Y(t)及压力减衰数据P(t)系以下述之式来计算者,(但PoCoRoTo系基准时之气体之上游侧压力气体比热比之常数气体常数,气 体温度,PtCtRtTt系到达时之气体之上游侧压力气体比热比之常数气体常数气体温度)。7.一种压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知装置,主要系由,控制阀(CV)及孔口(2)及 用于侦出这些之间之上游侧压力P1之压力检出器(14)及流量设定电路(32)所构成,将上游侧压力P1保持于下游侧压力P2之约2倍以上而将下游侧之流量QC以QC=KP1(K:常数)来 计算,而以此计算流量QC与设定流量QS之相差讯号QY来实施控制阀(CV)之开闭控制之流量控制装置中,其特征为,由:记忆了该在孔口(2)没有阻塞之条件下,由高设定流量QSH 切换至低设定流量QSL而所测定之上游侧压力P1之基准压力减衰数据Y(t)之记忆装置M;及在孔口(2)之实际条件下由高设定流量QSH而切换至低设定流量QSL以资测定上游侧压力 P1之压力减衰数据P(t)之上述压力检出器(14);及将压力减衰数据P(t)与基准压力减衰数据Y(t)实施对比计算之中央计算处理装置CPU;以及当压力减衰数据P(t)之自基准压力减衰数据Y(t)而离开有规定度以上时,即据以告知有阻塞之警报电路(46)所构成者。8.如申请专利范围第7项所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知装置,其中将基准压力减衰数据Y(t)及压力减衰数据P(t)乃以下述之形式来表示者Y(t)(或P(t))=exp(-kt)但k系减衰参数。9.一种压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知装置,主要系由,控制阀(CV)及孔口(2)及用于侦出这些之间之上游侧压力P1之压力检出器(14)及流量设定电路(32)所构成,将上游侧压力P1保持于下游侧压力P2之约2倍以上,而将下游侧之流量QC以QC=KP1(K:常数) 来计算,而以此计算流量QC与设定流量QS之相差讯号QY来实施控制阀(CV)之开闭控制之 流量控制装置中,其特征为,由:用于测定孔口上游侧压力P之压力检出器(14),及用于检出孔口上游侧温度T之温度检出器(24),及记忆了使用该在孔口(2)没有阻塞之条件下,从高设定流量QSH而切换至低设 定流量QSL而测定之上游侧压力Pt及上游侧温度Tt所计算之上游侧压力P1之基准压力减 衰数据Y(t)之记忆装置M,及计算上述基准压力减衰数据Y(t)同时使用在孔口(2)之实际条件下从高设定流量QSH而切换至低设定流量QSL所测定之上游侧压力Pt及上游侧温度t以 资计算出上游侧压力P1之压力减衰数据P(t),再实施该压力减衰数据P(t)与上述基准压力减衰数据Y(t)之计算之中央计算处理装置CPU,以及当压力减衰数据P(t)之自基准压力减衰数据Y(t)离开有规定度以上时即告知有阻 塞之警报电路(46)所构成者。10.如申请专利范围第9项所述之压力式流量控制装置之孔口阻塞侦知装置,其中基准压力减衰数据Y(t)及压力减衰数据P(t)系以下式来计算之:(但Po,Co,Ro,To为基准时之气体之上游侧压力气体比热比之常数气体常数气 体温度,PtCtRtTt为到达时之气体之上游侧压力气体比热比之常数气体常数气体温度)。图式简单说明:第一图系有关本发明之流量控制装置之阻塞侦出装置之一例之方块构成图。第二图系工场运转时之流量控制之流程图。第三图系用于求出本发明之第1实施例之阻塞侦出方法之基准压力减衰数据Y(t)之流 程图。第四图系表示没有阻塞时之基准压力减衰数据Y(t),及有阻塞时之压力减衰数据P(t) 之曲线表。第五图系实施本发明之第1实施例之阻塞侦出方法之流程图。第六图系各种讯号之时序表。第七图系用于求出本发明之第2实施例之阻塞侦出方法之基准压力减衰数据Y(t)之流 程图。第八图系实施本发明之第2实施例之阻塞检出方法之流程图。第九图系表示在本发明之第2实施例中改变温度时之压力下降特性之曲线图。第十图系表示在本发明之第2实施例中改变温度时之压力减衰数据Z(t)之计算値之曲线图。第十一图系表示本发明之第2实施例中改变温度时之基准时之压力减衰数据(25℃)Zs(t)与压力减衰数据之计算値之相差。第十二图系先前例之压力流量控制装置之方块构成图。第十三图系在孔口发生阻塞时之设定値流量特性图。 |
