| 主权项 |
1.一种显示板基板之检查装置,包含有:检查载物台,用以承接显示板基板;摄影装置,用以自前述检查载物台之相反侧摄影由该检查载物台所承接之显示板基板;以及探针组,具备有与前述显示板基板接触的复数个接触件;其中前述摄影装置系具备有:线感测器,用以将光转换成电信号之复数个光电转换元件排设在与前述显示板基板平行的第一方向,且至少有一个;以及感测器移动机构,用以使该线感测器在与前述显示板基板平行的面内朝向与前述光电转换元件之配置方向交叉的第二方向移动者。2.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中前述感测器移动机构系具备有:第一移动机构,用以使前述线感测器在与前述显示板基板平行的面内朝向前述第二方向移动;以及第二移动机构,用以使前述线感测器在与前述显示板基板平行的面内以角度旋转方式以朝向前述第二方向延伸之轴线为中心旋体。3.如申请专利范围第2项之显示板基板之检查装置,其中前述感测器移动机构更具备有第三移动机构,而该第三移动机构系用以使前述线感测器朝向与前述显示板基板交叉的第三方向移动者。4.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中之该检查装置更包含一配置有前述检查载物台、前述摄影装置及前述探针组的本体,而该本体系开放成可从前述探测组之侧目视到前述显示板基板者。5.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中之该检查装置更包含一可从前述探针组之侧目视到前述显示板基板的光学显微镜。6.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中之该检查载物台系以倾斜承接前述显示板基板的方式而倾斜着。7.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中之该探针组,系具备有长方形开口之板状基座、及安装在该基座上的复数个探针块,而各探针块系并排配置有复数个接触子,且这些接触子之前端部系以自前述开口突出于前述显示板基板之侧的状态配置在前述基座上者。8.如申请专利范围第1项之显示板基板之检查装置,其中之该摄影装置具备有至少二个以上之线感测器,而该线感测器系以邻接前述第二方向之状态及可变更前述第一方向中之相对位置的方式配置在前述感测器移动机构。9.如申请专利范围第8项之显示板基板之检查装置,其中前述感测器移动机构系具备有用以使前述二个以上之线感测器相对移动至前述第二方向的移动机构。10.如申请专利范围第8项之显示板基板之检查装置,其中之各线感测器系利用感测器座而组装在前述感测器移动机构者。11.如申请专利范围第l0项之显示板基板之检查装置,其中前述用测器座系以可移动于前述第一方向的方式而支撑于前述感测器移动机构。图式简单说明:第一图显示本发明之检查装置之一实施例的立体斜视图。第二图为第一图所示之检查装置的剖面图。第三图为第一图所示之检查装置中之检查部的俯视图。第四图为沿着第三图中之4-4线所得的剖面图。第五图为沿着第三图中之5-5线所得的剖面图。第六图为线感测器对显示板基板之角度变更及调整用的说明图。第七图显示本发明之检查装置之另一实施例的图,且与第四图同样的剖面图。第八图为与第七图所示之另一实施例中之第五图同样的剖面图。第九图显示第七图所示之另一实施例中变更所邻接之线感测器之相对位置的状态之一实施例的俯视图。第十图为沿着第九图中之10-10线所得的剖面图。第十一图显示第七图所示之另一实施例中变更所邻接之线感测器之相对位置的另一状态之一实施例的俯视图。第十二图为沿着第十一图中之12-12线所得的剖面图。 |
