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发明名称 DOUBLE SLIT-VALVE DOORS FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1095392(A1) 申请公布日期 2001.05.02
申请号 EP19990930548 申请日期 1999.06.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SHAN, HOMGQING;LUSCHER, PAUL, E.;LEE, EVANS, Y.;CARDUCCI, JAMES, D.;SALIMIAN, SIAMAK
分类号 F16K51/02;H01J37/20;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人
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