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发明名称 METHOD OF PRODUCING NNS ARTICLES BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 IL133765(D0) 申请公布日期 2001.04.30
申请号 IL19990133765 申请日期 1999.12.28
申请人 CVD, INCORPORATED 发明人
分类号 C23C16/01;C23C16/44;C23C16/458;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C16/01
代理机构 代理人
主权项
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