| 发明名称 |
REGENERATION OF METAL CVD PRECURSORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL133245(D0) |
申请公布日期 |
2001.04.30 |
| 申请号 |
IL19990133245 |
申请日期 |
1999.12.01 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
B01J19/00;C07C45/85;C07C49/167;C07C49/92;C07F1/08;C07F7/08;C23C16/00;C23C16/44;H01L21/285;(IPC1-7):C07B |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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