发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52104879(A) 申请公布日期 1977.09.02
申请号 JP19760021142 申请日期 1976.03.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAMIGAKI YOSHIAKI;SUNAMI HIDEO
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/336;H01L29/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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