发明名称 Temporary bridge for micro machined structures
摘要
申请公布号 AU7715200(A) 申请公布日期 2001.04.30
申请号 AU20000077152 申请日期 2000.09.25
申请人 INPUT/OUTPUT, INC. 发明人 LIANZHONG YU;HOWARD D. GOLDBERG;DULI YU
分类号 G02B26/10;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C99/00;C23F1/02;G01P9/04;G02B26/08;G03F7/20 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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