发明名称 |
Temporary bridge for micro machined structures |
摘要 |
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申请公布号 |
AU7715200(A) |
申请公布日期 |
2001.04.30 |
申请号 |
AU20000077152 |
申请日期 |
2000.09.25 |
申请人 |
INPUT/OUTPUT, INC. |
发明人 |
LIANZHONG YU;HOWARD D. GOLDBERG;DULI YU |
分类号 |
G02B26/10;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C99/00;C23F1/02;G01P9/04;G02B26/08;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B26/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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