| 发明名称 |
SHAPED SHADOW PROJECTION FOR AN ELECTRON BEAM COLUMN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IL133320(D0) |
申请公布日期 |
2001.04.30 |
| 申请号 |
IL19990133320 |
申请日期 |
1999.04.05 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS INCORPORATED |
发明人 |
|
| 分类号 |
G03F1/08;G03F7/20;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
