| 发明名称 |
DETECTING REGISTRATION MARKS WITH A LOW ENERGY ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL133321(D0) |
申请公布日期 |
2001.04.30 |
| 申请号 |
IL19990133321 |
申请日期 |
1999.04.05 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS INCORPORATED |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):H01J |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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