ACCELERATION SENSOR WITH LIMITED MOVABILITY IN THE VERTICAL DIRECTION

摘要

Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungssensor mit einer beweglich an einem Substrat aufgehängten, aufgrund einer Beschleunigungseinwirkung auslenkbaren Schwingstruktur, wobei eine Schwingebene der Schwingstruktur im wesentlichen parallel zu einer Substratebene liegt, und Auswertemitteln zum Erfassen einer beschleunigungsbedingten Auslenkung der Schwingstruktur. Hierbei ist eine im wesentlichen senkrecht zur Schwingebene (x-, y-Ebene) der Schwingstruktur (12) liegende Auslenkbewegung der Schwingstruktur (12) begrenzende Anschlagmittel (36) vorgesehen. Die Anschlagmittel können zwischen fingerförmigen, beweglichen Elektroden als brückenförmige Struktur ausgebildet sein, welche eine feststehende, fingerförmige Elektrode untergreift. Die Anschlagmittel können auch mit einer Ringstufe eines Lateralanschlages zusammenwirken.