ARRAY FOR OPTICAL EVALUATION OF AN OBJECT ARRAY

摘要

Anordnung zur optischen Auswertung eines Gegenstandsarrays, dem in Richtung eines Detektorarrays ein vorzugsweise auswechselbares und/oder ausschwenkbares Mikrolinsenarray (MLA) sowie eine Feldlinse vorgeordnet ist, mit einer über einen vorzugsweise ausschwenkbaren Strahlteiler eingekoppelten Beleuchtung, wobei diese zwischen der Feldlinse und einem Objektiv eingekoppelt wird.