| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Temperieren und Prozessieren mehrerer Prozessiergüter mit Hilfe elektromagnetischer Strahlung. Die Vorrichtung ist ein Stapelofen, wobei die Prozessiergüter und die Energiequellen so aneinander angeordnet sind, dass zwischen zwei Energiequellen ein Prozessiergut und zwischen zwei Prozessiergütern eine Energiequelle vorhanden sind. Die Vorrichtung eignet sich insbesondere zum Temperieren der Prozessiergüter in Gegenwart eines Prozessgases. Mit der Vorrichtung ist ein variables Aufheiz- und Abkühlprofil mit variablen Prozessierparametern (z.B. Gasdruck, Aufheizrate, Abkühlrate) möglich. Insbesondere ist ein sicheres Temperieren eines Prozessierguts in Form eines grossflächigen Mehrschichtkörpers mit Schichten unterschiedlicher physikalischer Eigenschaften (Thermischer Leitfähigkeitskoeffizient, Temperaturausdehnungskoeffizient, Absorptions- und Emissionsvermögen etc.) möglich. Mit der Vorrichtung und dem Verfahren ist es möglich, zum Prozessieren des Prozessierguts ein toxisches und/oder korrosives Prozessgas einzusetzen. Geeignet ist die Vorrichtung bzw. das Verfahren zum Beispiel zur Herstellung von Dünnfilmsolarmodulen.</p> |
