| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Sensorelement, insbesondere Drehratensensor, mit einer rotationssymmettrisch ausgebildeten, in einer Schwingebene drehbeweglich an einem Substrat aufgehängten, aufgrund einer Krafteinwirkung um eine senkrecht zur Ebene verlaufende Drehachse auslenkbaren Schwingstruktur, wobei die Schwingstruktur über symmetrisch angeordnete Federelemente mit dem Substrat verbunden ist. Es ist vorgesehen, daß die Federelemente (14) zwischen einem ersten Befestigungspunkt (16) am Substrat und einem zweiten Befestigungspunkt (18) an der Schwingstruktur (10) wenigstens zwei Federarme (20, 22) aufweisen, die derart angeordnet sind, daß ein auf das gesamte Federelement (14) in der Schwingebene (X-Y-Ebene) wirkendes Biegemomnet (M) in Betrag und Richtung kompensiert ist.</p> |
