| 发明名称 |
Ion beam vacuum sputtering apparatus and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7433800(A) |
申请公布日期 |
2001.04.24 |
| 申请号 |
AU20000074338 |
申请日期 |
2000.09.18 |
| 申请人 |
NORDIKO LIMITED |
发明人 |
MERVYN HOWARD DAVIS;GARY PROUDFOOT;DAVID IAN CHARLES PEARSON |
| 分类号 |
G21K5/04;C23C14/46;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/304;H01J37/34;H05H1/24 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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