| 主权项 |
1.一种正光阻组成物,包含40-90重量%之具有重量平 均份子量为3000至20000之硷溶性酚醛树脂;5-50重量% 之二叠氮化合物,其系-(1,2)-二叠氦(2)-5-磺 醯氯和下列分子式所示化合物之反应产物; 以及5-20重量%之通式(I)化合物: (I) 式中Y1至Y10各自独立,系氢原子、羟基或C1-4烷基, 但Y1至Y10中至少有一个基是羟基, X选自下列基: 式中R1至R3各自独立,系氢原子或 C1-4烷基;但硷溶性酚醛树脂之依“胶体渗透层析 法"(GPC)所测得之图形中,分子量(以聚苯乙烯为基 准计算)为 1,000或以下成份之图形面积占扣除未反应之酚化 合物之该酚醛树脂图形全面积的20%或以下。2.如 申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中二叠 氦化合物乃1,2-苯二叠氦-4-磺酸酯,1,2-二叠 氮-4-磺酸酯或1,2-二叠氮-5-磺酸酯。3.如申请 专利范围第1项之正光阻组成物,其中硷溶性酚醛 树脂乃酚化合物和醛化合物之反应产物。4.如申 请专利范围第3项之正光阻组成物,其中酚化合物 为苯酚,邻-,间-或对-甲苯酚,2,5-二甲苯酚,3,5-二甲 苯酚,3,4-二甲苯酚,2,3,5-三甲苯酚,4-第三丁苯酚,2- 第三丁苯酚,3-第三丁苯酚,3-乙苯酚,2-乙苯酚,4-乙 苯酚,3-甲基-6-第三丁苯酚,4-甲基-2-第三丁苯酚,2- 酚,1,3-二羟,1,5-二羟或1,7-二羟。5.如申请 专利范围第3项之正光阻组成物,其中酚化合物为2, 5-二甲苯酚,间-甲苯酚,对-甲苯酚或下列分子式所 示之酚化合物:6.如申请专利范围第3项之正光阻组 成物,其中醛化合物为甲醛,仲甲醛,乙醛,丙醛, 醛,苯醛,-苯丙醛,-苯丙醛,邻-,间-或对-羟醛 ,戊醛,乙二醛,邻-甲醛或对甲醛。7.如申请专 利范围第3项之正光阻组成物,其中醛化合物为邻- 羟醛或甲醛。8.如申请专利范围第1项之正光阻 组成物,其中通式 (I)化合物: (I) (式中Y1至Y10及X如前述)系9.如申请专利范围第1项 之正光阻组成物,其中该光阻组成物尚含有其他添 加剂树脂,界面活性剂,安定剂,使所形成影像更可 辨视之染料及光敏剂。 |
