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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5716172(A) 申请公布日期 1982.01.27
申请号 JP19800090542 申请日期 1980.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJITA ICHIROU;ONO TOSHIHIKO
分类号 C23F4/00;C23C14/34;C23F1/08;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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