发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MATERIAL
摘要
申请公布号 JP2001110898(A) 申请公布日期 2001.04.20
申请号 JP19990290015 申请日期 1999.10.12
申请人 ASAHI KASEI CORP 发明人 HATA KEIKO;MATSUOKA YOSHIO
分类号 H01L21/768;C09D179/08;C09J179/08;H01L21/283;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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