发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MATERIAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JP2001110898(A) |
申请公布日期 |
2001.04.20 |
申请号 |
JP19990290015 |
申请日期 |
1999.10.12 |
申请人 |
ASAHI KASEI CORP |
发明人 |
HATA KEIKO;MATSUOKA YOSHIO |
分类号 |
H01L21/768;C09D179/08;C09J179/08;H01L21/283;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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