发明名称 PROCEDE DE PRODUCTION D'UN PLASMA PAR DECHARGES DISTRIBUEES DE TYPE CAPACITIF, ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE D'UN TEL PROCEDE
摘要 <P>- L'invention concerne un dispositif de production d'un plasma par décharges de type capacitif, pour la mise en oeuvre du procédé, du type comprenant une électrode passive (3) placée à distance d'une électrode active (4) alimentée par une tension de maintien de décharge.- Selon l'invention, le dispositif comprend une électrode active constituée par une série d'électrodes actives élémentaires (4 i ) réparties de façon géométriquement uniforme en regard de l'électrode passive, chaque électrode active élémentaire (4 i ) délimitant chacune, en regard de l'électrode passive (3), d'une part, une surface active (5) alimentée par une tension de maintien de décharge et, d'autre part, une surface passive (8).</P>
申请公布号 FR2799920(A1) 申请公布日期 2001.04.20
申请号 FR19990013304 申请日期 1999.10.19
申请人 METAL PROCESS 发明人 LAGARDE THIERRY;PELLETIER JACQUES
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/34 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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