发明名称 Adhesion test unit for thin CVD substrates monitors probe wear avoids substrate damage
摘要 The adhesion test unit is mounted in a transportable table and uses successive crack and Rockwell hardness tests with only one stressing of the test piece and regular checking by light microscope of the probe wear using a soft material.
申请公布号 DE19950310(A1) 申请公布日期 2001.04.19
申请号 DE19991050310 申请日期 1999.10.14
申请人 GFE-GESELLSCHAFT FUER FERTIGUNGSTECHNIK UND ENTWICKLUNG SCHMALKALDEN/CHEMNITZ MBH 发明人 SCHUSTER, JOACHIM
分类号 G01N3/42;G01N3/46;G01N19/04;(IPC1-7):G01N3/42 主分类号 G01N3/42
代理机构 代理人
主权项
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