Ein Ring (3) wird ohne mechanischen oder elektrischen Kontakt durch elektrostatische Kräfte zwischen Elektroden (4) in der Schwebe gehalten. Durch die Strukturierung des Ringes in Segmente mit unerschiedlichen radialen Abmessungen und eine mehrphasige Ansteuerung mittels segmentierter Elektroden wird ein Drehmoment auf den schwebenden Ring ausgeübt, das den Ring in Rotation versetzt. Die Regelung der Ringposition und die Detektion einer auftretenden Corioliskraft erfolgt mittels der an die Elektroden angelegten Potentiale.
申请公布号
WO0127561(A1)
申请公布日期
2001.04.19
申请号
WO2000EP10110
申请日期
2000.10.13
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;AIGNER, ROBERT;HANDTMANN, MARTIN