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<p>Verfahren zur Herstellung von hochreinem, granularem Silizium durch Zersetzung eines siliziumhaltigen Gases, insbesondere eines Silans in einem Druckbereich von 100 bis 900 mbar, wobei bis zu 50 Vol-%, bezogen auf das insgesamt zugeführte Gas, eines siliziumfreien Gases zugegeben werden können.</p> |
