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发明名称 Method and device using ArF photoresist
摘要
申请公布号 GB2321060(B) 申请公布日期 2001.04.18
申请号 GB19980000194 申请日期 1998.01.06
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JAE-CHANG * JUNG;CHI HYEONG * ROH;JOO ON * PARK
分类号 G03F7/027;C08F2/48;C08F226/02;C08F232/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F232/08;G03F7/038 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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