Planer trimming resistor, its application and manufacturing process

摘要

Ein Abgleichwiderstand wird hergestellt durch Abscheiden einer Widerstandsschicht (3) auf einem Substrat (1), einer Passivierungsschicht (5) mit Fenstern (4) und einer Kontaktschicht (6), die mit der Widerstandsschicht (3) durch die Fenster (4) in Kontakt steht. Ein Abgleich erfolgt durch Unterbrechen der Kontaktschicht (6) an Engstellen (7). Anwendung für die Herstellung von Hochdrucksensoren. <IMAGE>