一种制造聚合物波导中反射镜的方法

摘要

聚合物波导(1)内倾斜放置的反射镜结构相对光学设备的位置是利用照相平版印刷术确定的集成金属掩模在该波导结构的顶端准确限定的。用激光照射波导表面时,仅仅通过而不留下金属从而形成的凹槽(19)是通过金属层条(15)的边缘来限定的。在同一金属层中也产生电子接触垫(13),其用于例如激光器和光电二极管等设备的自动对难倒装片的安装。可在低于波导芯的位置将另一金属层(21)加到波导结构中,使得该层被激光照射和阻挡激光。激光能量使金属雾化,然后这些被分散的金属将沉积在凹槽(19)的壁上。

主权项

1．一种将产生或接收光的电光或光电设备与在基片表面层中形成的光波导相连接的方法，包括的步骤有：在该表面上施加一金属层，在该金属层上形成图案以形成一区域的边缘，该边缘用于限定所要形成的反射表面的位置，在该边缘处照射该表面以去掉表面层中的材料，从而形成的凹槽具有在该边缘处开始并延伸到该表面层中的一个光反射侧壁，其特征在于，在对该金属层形成图案时，形成的图案使得在相对于该边缘且因此相对于反射侧壁的一个准确限定的位置处形成定位该设备的金属区域。