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发明名称 RESIST-PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 SG79977(A1) 申请公布日期 2001.04.17
申请号 SG19980001243 申请日期 1998.05.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KAZUTOSHI YOSHIOKA
分类号 H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/027;G03F7/16;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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