| 发明名称 |
PRINTING SUBLITHOGRAPHIC IMAGES USING A SHADOW MANDREL AND OFF-AXIS EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG80082(A1) |
申请公布日期 |
2001.04.17 |
| 申请号 |
SG19990005207 |
申请日期 |
1999.10.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
TOSHIHARU FURUKAWA;MARK C. HAKEY;STEVEN J. HOLMES;DAVID V. HORAK;PAUL A. RABIDOUX |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):G03C5/58 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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