发明名称 DEPOSITION OF A SILOXANE CONTAINING POLYMER
摘要
申请公布号 KR20010031688(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007004750 申请日期 2000.05.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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