发明名称 MANUFACTURING A MEMORY DISK OR SEMICONDUCTOR DEVICE USING AN ABRASIVE POLISHING SYSTEM, AND POLISHING PAD
摘要
申请公布号 KR20010031790(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007004857 申请日期 2000.05.04
申请人 发明人
分类号 B24B1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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