发明名称 NEW DEPOSITION SYSTEMS AND PROCESSES FOR TRANSPORT POLYMERIZATION AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20010031400(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007004417 申请日期 2000.04.24
申请人 发明人
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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