发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURE THEREOF, SEMICONDUCTOR MODULE, AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING CIRCUIT BOARD AND ELECTRONIC UNIT BOARD
摘要
申请公布号 KR20010030743(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007003279 申请日期 2000.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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