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发明名称
摘要
申请公布号 JP3156001(B2) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 JP19930044337 申请日期 1993.02.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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