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发明名称 ELIMINATION OF THE TITANIUM NITRIDE FILM DEPOSITION IN TUNGSTEN PLUG TECHNOLOGY USING PE-CVD-Ti AND IN-SITU PLASMA NITRIDATION
摘要
申请公布号 KR20010031857(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007004930 申请日期 2000.05.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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