| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATION OF SF6 FROM CF4/AIR-CONTAINING GAS STREAM |
| 摘要 |
A method and apparatus for the separation and recovery of SF6 from a gas mixture consisting essentially of SF6, CF4 and N2. The method and apparatus involve membrane separation to separate N2 from SF6 and CF4, and liquefaction to separate SF6 from CF4.
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| 申请公布号 |
WO0124913(A1) |
申请公布日期 |
2001.04.12 |
| 申请号 |
WO2000US21997 |
申请日期 |
2000.10.02 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET, L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;LI, YAO-EN |
发明人 |
LI, YAO-EN |
| 分类号 |
B01D53/00;B01D53/22;F25J3/00;F25J3/06;F25J3/08;(IPC1-7):B01D53/22 |
主分类号 |
B01D53/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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